WTB5光柵尺位移檢測(cè)
常見WTB5光柵尺的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。當(dāng)使指示光柵上的線紋與標(biāo)尺光柵上的線紋成一角度來放置兩光柵尺時(shí),必然會(huì)造成兩光柵尺上的線紋互相交叉。在光源的照射下,交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線紋重疊,因而遮光面積最小,擋光效應(yīng)最弱,光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。相反,距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來越少,不透明區(qū)域面積逐漸變大,即遮光面積逐漸變大,使得擋光效應(yīng)變強(qiáng),只有較少的光線能通過這個(gè)區(qū)域透過光柵,使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶。這些與光柵線紋幾乎垂直,相間出現(xiàn)的亮、暗帶就是莫爾條紋。那么WTB5光柵尺是怎么進(jìn)行檢測(cè)的?
一、WTB5光柵尺位移大小的檢測(cè)
由于莫爾條紋的移動(dòng)與兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)是相對(duì)應(yīng)的,故通過檢測(cè)這4個(gè)電壓信號(hào)的變化情況,便可相應(yīng)地檢測(cè)出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)。每變化一個(gè)周期,即莫爾條紋每變化一個(gè)周期,表明兩光柵尺相對(duì)移動(dòng)了一個(gè)柵距的距離;若兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)不到一個(gè)柵距,因是余弦函數(shù),故根據(jù)之值也可以計(jì)算出其相對(duì)移動(dòng)的距離。
二、WTB5光柵尺位移方向的檢測(cè)
若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng),指示光柵沿正方向移動(dòng),這時(shí),莫爾條紋相應(yīng)地沿向下的方向移動(dòng),透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過程和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào),在這種情況下,滯后的相位為/2;反之,若標(biāo)尺光柵固定不動(dòng),指示光柵沿負(fù)方向移動(dòng),這時(shí),莫爾條紋則相應(yīng)地沿向上的方向移動(dòng),透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測(cè)到的光強(qiáng)度變化過程和及輸出的相應(yīng)的電壓信號(hào),在這種情況下,超前的相位為/2。因此,根據(jù)和兩信號(hào)相互間的超前和滯后關(guān)系,便可確定出兩光柵尺之間的相對(duì)移動(dòng)方向。